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JCB-8818A Equipo MPCVD de diamante
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JCB-8818A Equipo MPCVD de diamante

Cantidad de pedido mínima:1

Descripción
Atributos del producto

Modelo20-2

MarcaJCB

Embalaje y entrega

JCB-8818 A MPCVD INTRODUCCIÓN DE EQUIPO

El JCB-8818A es un sistema de plasma de microondas de alto rendimiento diseñado por JCB, con un diseño de cámara circular avanzado capaz de depositar materiales en sustratos de metal especializados con diámetros de hasta 75-80 mm. Este sistema sintetiza de manera eficiente el diamante sintético de alta calidad, incluidos los diamantes de cristal único y los materiales superhalicados policristalinos, a tasas de crecimiento de 10-15 micrómetros por hora. Se usa ampliamente para producir diamantes cultivados en laboratorio, películas de diamantes CVD, sustratos de materiales superhalvados monocristales para herramientas de corte de diamantes e incluso grafeno de baja temperatura, así como otros materiales avanzados que requieren energía de plasma de microondas precisa. Los productos resultantes exhiben una estabilidad térmica excepcional, lo que los hace ideales para exigentes aplicaciones industriales.
Obtenga más información: https://en.jcbdiamond.com/

Parámetros técnicos principales del equipo

1. Sistema de microondas (según la fuente de alimentación opcional)

◆ Frecuencia de operación: 2450 ± 50MHz

◆ Potencia de salida: 1 ~ 10kW continuamente ajustable

◆ Flujo de agua de enfriamiento: 6-12L/min

◆ Coeficiente de onda permanente del sistema: VSWR≤1.5

◆ Fugas de microondas: <2 MW/cm2

◆ Manual de tres pines

◆ Equipado con ajuste de antena y ajuste de pistón de cortocircuito

2. Sistema de vacío y cámara de reacción

◆ Tasa de fuga <5 × 10Pa .m '/s

Esta máquina puede alcanzar una presión final inferior a 0.5 Pa e incluye un medidor de vacío Pirani importado para una medición precisa.

◆ La presión en la cavidad no aumentará más de 50pa después de 12 horas de mantenimiento de la presión.

◆ Método de admisión de aire: entrada de aire superior

La máquina tiene 4 ventanas de observación para la medición de temperatura.

◆ Entrada: ubicada en la parte delantera de la cavidad

3. Sistema de soporte de muestra

◆ Diámetro de la etapa de muestra ≥73 mm, diámetro de uso efectivo ≥71 mm

◆ Estructura sándwich refrigerada por agua de mesa de sustrato, levantamiento vertical

4. Sistema pneumático

◆ Placa de gasolina de metal completa con 5-7 canales de gas opcionales

◆ Todas las rutas de aire dentro del equipo usan las juntas de soldadura o videovina

5. Enfriamiento del sistema

◆ Enfriamiento de agua de 3 vías, monitoreo en tiempo real de la temperatura y el flujo

◆ Flujo de agua de enfriamiento del sistema ≤50L/min, presión de agua de enfriamiento <4kg,

Importar temperatura del agua 20-25C

6. Método de medición de temperatura

◆ Termómetro infrarrojo externo, rango de temperatura 300-1400RC

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