Equipo de MPCVD

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Modelo: 20-2

Marca: JCB

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JCB-8818 A MPCVD INTRODUCCIÓN DE EQUIPO

JCB-8818A Tipo MPCVD es un MPCVD de cavidad cilíndrica de alta potencia desarrollado por JCB. Su diámetro de crecimiento efectivo de la tabla de molibdeno puede alcanzar 75/80 mm, y la tasa de crecimiento del diamante de cristal único DEF puede alcanzar 10-15um. Este equipo se utiliza principalmente para el crecimiento de diamantes cultivados con un solo cristal, diamantes de cortador de cristal único de alta calidad, películas de diamantes policristalinos, crecimiento de baja temperatura de grafeno de alta calidad y el crecimiento de materiales que requieren energía proporcionada por el plasma de microondas.

Parámetros técnicos principales del equipo

1. Sistema de microondas (según la fuente de alimentación opcional)

◆ Frecuencia de operación: 2450 ± 50MHz

◆ Potencia de salida: 1 ~ 10kW continuamente ajustable

◆ Flujo de agua de enfriamiento: 6-12L/min

◆ Coeficiente de onda de pie del sistema: VSWR ≤ 1.5

◆ Fugas de microondas: <2 MW/cm2

◆ Manual de tres pines

◆ Equipado con ajuste de antena y ajuste de pistón de cortocircuito

2. Sistema de vacío y cámara de reacción

◆ Tasa de fuga <5 × 10Pa .m '/s

◆ La presión definitiva es inferior a 0.5 Pa (esta máquina viene con un medidor de vacío Pirani importado)